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ATLEX-500-L準分子激光器
ATLEX-500-L準分子激光器

ATL Lasertechnik @ ATLEX-500-L準分子激光器

產(chǎn)品負責(zé)人

陳工

姓名：陳工

電話：0431-85916189

郵箱：info@china-quantum.com

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點：

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· TMC（全金屬陶瓷）管路

· 電暈預(yù)電離

· 固態(tài)開關(guān)

· 延長動態(tài)和靜態(tài)氣體壽命（數(shù)月）

· 激光頭容積6 L

· 全部風(fēng)冷

· RS-485、RS232、USB及光纖接口

· 可沖洗光具座

· 集成4閥系統(tǒng)，便于氣體處理

· 能量穩(wěn)定模式

· 符合歐洲CE標準，符合RoHS規(guī)范

· 模塊化設(shè)計/服務(wù)友好

參數(shù)型號
型號 ATLEX-1000-L ATLEX-500-L
機械尺寸
重量 70 kg 70 kg
尺寸 600 x 415 x 567 mm 600 x 415 x 567 mm
基礎(chǔ)參數(shù)
最大重復(fù)頻率 1000 Hz 500 Hz
波長（nm） 193/248 193/248
氣體介質(zhì) ArF/KrF
ArF/KrF
高壓開關(guān)技術(shù) 固態(tài)開關(guān) 固態(tài)開關(guān)
最大脈沖能量 10/15 mJ 10/15 mJ
最大平均功率  8.0/10.0 W 4.0/6.5 W
脈沖寬度 5 – 8 ns 5 – 8 ns
光束尺寸(V x H) 6 x 4 mm 6 x 4 mm
光束發(fā)散角(V x H) 2x 1 mrad 2 x 1 mrad
能量穩(wěn)定性（標準偏差） < 2 % < 2 %
冷卻 Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid
電力需求 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz
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