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產(chǎn)品中心 · 光源|激光器﹥準分子激光器

準分子激光器
準分子激光器

ATL Lasertechnik @ 準分子激光器

產(chǎn)品負責人

陳工

姓名：陳工

電話：0431-85916189

郵箱：info@china-quantum.com

產(chǎn)品詳情

德國ATL Lasertechnik公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、緊湊型短脈沖準分子激光器，并在該領域保持技術領先地位。

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產(chǎn)品特點：

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· 軟電暈預電離

· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器

· 激光頭容積 < 3L

· TMC（全金屬陶瓷）管路

· 集成真空泵和鹵素過濾器

· 全部風冷，主動熱管理

· RS-485、RS232、USB及光纖接口

· 可沖洗光具座

· 能量穩(wěn)定模式

· 符合歐洲CE標準

· 符合RoHS規(guī)范

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產(chǎn)品應用：

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· 微機械加工

· 激光燒蝕

· 光譜學

· 計量學

參數(shù)型號
型號 ATLEX-LR ATLEX-500-FBG ATLEX-300-FBG ATLEX-1000-I ATLEX-500-I ATLEX-300-I
機械尺寸
重量 60 kg 60 kg 60 kg 60 kg 60 kg 60 kg
尺寸 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm 540 x 470 x 370 mm
基礎參數(shù)
最大重復頻率 500 Hz 300 Hz 810 Hz 500 Hz 300 MHz
波長（nm） 193 193/248 193/248 193/248 157/193/248/308/351 nm 157/193/248/308/351
氣體介質 ArF
ArF/KrF
ArF/KrF
ArF/KrF
F2/ArF/KrF/XeCl/XeF
F2/ArF/Kr/XeCl/XeF
高壓開關技術 固態(tài)開關 固態(tài)開關 固態(tài)開關 固態(tài)開關 固態(tài)開關
最大脈沖能量 12 mJ 10/15 mJ 10/15 mJ 10/15 1/10/15/8/7 1/10/15/8/7 mJ
最大平均功率 4.0/ 6.5 W  2.4/4.0 W 8/10 0.5/4.0/6.5/3.0/2.5 0.2/2.4/4.0/2.0/1.7 W
脈沖寬度 5 ns 5 – 8 ns 5 – 8 ns 5 – 8 ns 5 – 8 ns 5 – 8 ns
光束尺寸(V x H) 4 x 6 mm 4 x 6 mm 4 x 6 mm 4 x 6 mm 4 x 6 mm 4 x 6 mm
光束發(fā)散角(V x H) 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad 1 x 2 mrad
能量穩(wěn)定性（標準偏差） < 2 % < 3 % < 3 % < 3 % < 3 % < 3 %
冷卻 Air Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid Cooling Air / Optional Liquid
電力需求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz 230 VAC / 10 A / 1 phase / 50-60 Hz 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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