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真空紫外濾光片是一種專門用于過濾真空紫外波段（波長范圍通常為10-200nm）光線的光學(xué)元件。
濾光片
光學(xué)性能方面?
- 波長選擇性高：能在真空紫外波段（通常指10-200nm波長范圍）對特定波長的光進(jìn)行精準(zhǔn)篩選，只允許特定波長的真空紫外光通過，而將其他波長的光有效截止。比如在120-200納米之間透射穩(wěn)定，可用于隔離和探測特定的真空紫外光譜線。
- 高透過率與低吸收率：采用特殊的鍍膜材料和工藝，在其通帶范圍內(nèi)具有較高的透過率，使需要的真空紫外光能夠盡可能多地通過濾光片，減少光能量的損失。同時(shí)，對通帶內(nèi)的光吸收率較低，以保證光信號(hào)的強(qiáng)度和質(zhì)量。
- 深截止特性：在通帶以外的波長區(qū)域，具有良好的截止性能，能夠?qū)⒉恍枰墓獾耐干渎式档偷胶艿偷乃?，通常可以達(dá)到OD2（光密度為2，即透射率為1%）甚至更低，有效抑制背景光和雜散光，提高信號(hào)的對比度和純度。
材料與結(jié)構(gòu)方面
- 特殊材料選擇：由于真空紫外光的高能量和特殊的光學(xué)性質(zhì)，濾光片的基片和鍍膜材料需要具有在真空紫外波段良好的光學(xué)透明性、低吸收和低散射特性。常用的基片材料有氟化鎂（MgF2）等氟化物，它們在200nm以下的波長仍能保持較好的透光性。
- 多層膜結(jié)構(gòu)：一般采用多層膜結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)其光學(xué)性能。通過在基片上交替沉積不同折射率和厚度的金屬和介質(zhì)薄膜，利用光的干涉原理，使特定波長的光相互加強(qiáng)而透過，其他波長的光相互抵消而被反射或吸收。這種多層膜結(jié)構(gòu)可以精確控制濾光片的光譜特性。
物理與環(huán)境性能方面?
- 表面質(zhì)量高：通常具有良好的表面平整度和光潔度，減少光的散射和衍射，保證光的傳輸和成像質(zhì)量。
- 穩(wěn)定性好：在真空環(huán)境和一定的溫度、濕度等條件下，能保持其光學(xué)性能和物理性能的穩(wěn)定，可抵抗一定程度的溫度變化、機(jī)械振動(dòng)等環(huán)境因素的影響，確保在不同的工作環(huán)境下都能正常工作。
- 抗輻射能力強(qiáng)：由于經(jīng)常會(huì)在一些涉及高能量輻射的真空紫外應(yīng)用場景中使用，如準(zhǔn)分子激光器等，所以具有一定的抗輻射能力，能夠在高能量真空紫外光的長期照射下，不發(fā)生明顯的性能退化和損壞。
應(yīng)用適應(yīng)性方面?
- 針對性強(qiáng)：可根據(jù)不同的應(yīng)用需求，設(shè)計(jì)和制造具有特定中心波長、帶寬和截止特性的真空紫外濾光片，滿足如拉曼光譜、準(zhǔn)分子激光器、空間天文測量等各種不同領(lǐng)域?qū)φ婵兆贤夤膺^濾的特定要求。
- 兼容性好：能夠與其他光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)很好地配合使用，如與真空紫外光源、探測器等組成完整的光學(xué)探測和分析系統(tǒng)，在不影響整個(gè)系統(tǒng)性能的前提下，發(fā)揮其濾光作用，提高系統(tǒng)的整體性能和可靠性。
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