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夏克-哈特曼CMOS波前傳感器的主要特點(diǎn)
【 2025-01-13 01:53 】【 瀏覽 162 】

夏克-哈特曼(Shack-Hartmann)CMOS 波前傳感器是一種用于測(cè)量光波前畸變的光學(xué)儀器。



夏克-哈特曼CMOS波前傳感器

測(cè)量能力方面?

- 寬光譜覆蓋:可覆蓋從紫外(157nm-400nm)、可見(jiàn)近紅外(400-1064nm)、短波紅外(900-1700nm)、中波紅外(2-5.4μm)到長(zhǎng)波紅外(8-14μm)的超寬光譜范圍,適用于多波長(zhǎng)測(cè)量。

- 多種測(cè)量對(duì)象與場(chǎng)景:能實(shí)現(xiàn)軸上和軸外波前測(cè)量,可掃描全視場(chǎng)以及進(jìn)行多視場(chǎng)同時(shí)測(cè)量;可測(cè)量圓形、橢圓形、帶中心遮攔(中心孔)、六邊形等多種出瞳形狀的波前;不受測(cè)量口徑限制,若擴(kuò)束系統(tǒng)受限,用準(zhǔn)直物鏡確保與傳感器NA匹配即可。

- 大動(dòng)態(tài)范圍測(cè)量:如上海交大團(tuán)隊(duì)研發(fā)的具有全局光斑自適應(yīng)匹配能力的大動(dòng)態(tài)范圍夏克-哈特曼波前傳感方法,能夠?qū)崿F(xiàn)局部斜率達(dá)到傳統(tǒng)極限24.17倍的波前測(cè)量能力,對(duì)于由第3至9項(xiàng)Zernike多項(xiàng)式所表征的波前,測(cè)量能力達(dá)到傳統(tǒng)極限的5.84倍至16.21倍。

性能方面?

- 高靈敏度:可以高精度地測(cè)量波前畸變,對(duì)微弱的波前信號(hào)也能有很好的響應(yīng),能夠捕捉到波前的微小變化。

- 高分辨率:CMOS圖像傳感器的像素陣列可以提供較高的空間分辨率,結(jié)合夏克-哈特曼技術(shù),能精確地測(cè)量波前的細(xì)節(jié)信息。

- 快速響應(yīng):具有較快的波前采集頻率,例如意大利SpotOptics的產(chǎn)品較高速波前采集頻率達(dá)到8000Hz,可應(yīng)用于分析ms級(jí)響應(yīng)的液體鏡頭,能夠?qū)崟r(shí)顯示測(cè)量結(jié)果,適用于對(duì)快速變化的波前進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和分析。

- 抗干擾能力強(qiáng):作為一種非干涉波前測(cè)量技術(shù),相比一些干涉式波前傳感器,夏克-哈特曼CMOS波前傳感器受環(huán)境干擾(如振動(dòng)、氣流等)的影響較小,能夠在較為復(fù)雜的環(huán)境中穩(wěn)定工作。

系統(tǒng)集成與應(yīng)用方面?

- 靈活的光路配置:提供Single Pass、Double Pass等多種測(cè)量光路,以滿足不同的應(yīng)用要求。

- 結(jié)構(gòu)緊湊:例如IOPTINO系列波前傳感器+電子自準(zhǔn)直儀雙通道的結(jié)構(gòu),尺寸僅150x100x50mm,重量400g,便于集成到各種光學(xué)系統(tǒng)中,節(jié)省空間且易于安裝和調(diào)試。

- 易于集成:CMOS圖像傳感器具有良好的兼容性和集成性,可方便地與其他光學(xué)元件、電子設(shè)備以及控制系統(tǒng)集成,組成完整的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)或其他光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)。

- 多功能應(yīng)用:可用于激光光束波前及光束質(zhì)量分析、天文望遠(yuǎn)鏡共位相誤差測(cè)量、主動(dòng)光學(xué)系統(tǒng)、自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)元件均勻性測(cè)量、非球面測(cè)量、非破壞性光學(xué)元件折射率測(cè)量等多種應(yīng)用場(chǎng)景。

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