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266nm連續(xù)波激光器是一種能夠輸出波長為266nm的連續(xù)激光的設(shè)備。
266nm連續(xù)波激光器
工作原理
通?;诜蔷€性光學(xué)頻率轉(zhuǎn)換技術(shù)。先產(chǎn)生1064nm的基頻激光,然后利用非線性光學(xué)晶體進(jìn)行腔內(nèi)或腔外的頻率倍頻操作。比如采用Ⅱ類臨界相位匹配的BBO(偏硼酸鋇)晶體進(jìn)行腔外四倍頻,將1064nm的激光轉(zhuǎn)換為266nm的紫外激光。由于外部環(huán)境如溫度、濕度、機(jī)械振動等因素會干擾激光器的諧振腔,因此需要精確的電氣反饋控制系統(tǒng)來實時控制腔長等參數(shù),以保證穩(wěn)定的激光輸出。
特性
-?波長特性:266nm屬于深紫外波段,波長較短,使得激光具有較高的光子能量。這不僅能使激光在一些特殊材料上實現(xiàn)更高的吸收系數(shù),還能減小聚焦光斑的尺寸,提高加工精度和分辨率。
- 功率特性:不同型號的266nm連續(xù)波激光器功率有所不同,一般從幾毫瓦到數(shù)瓦甚至更高功率。
- 光束質(zhì)量:具有良好的光束質(zhì)量,通常用M2因子來衡量,M2值越接近1,光束質(zhì)量越好。一些高質(zhì)量的266nm連續(xù)波激光器的M2值可小于1.3,接近理想的基模高斯光束。
- 相干性:部分266nm連續(xù)波激光器具有較長的相干長度,例如有的相干長度可達(dá)1000米以上,這使得激光在干涉測量、光譜分析等對相干性要求較高的應(yīng)用中具有優(yōu)勢。
- 穩(wěn)定性:能夠?qū)崿F(xiàn)較高的功率穩(wěn)定性和光束指向穩(wěn)定性。在長時間運(yùn)行過程中,功率波動較小,光束的指向變化也在可接受的范圍內(nèi)。
應(yīng)用領(lǐng)域
- 科學(xué)研究:在拉曼光譜學(xué)中,266nm連續(xù)波激光器可作為激發(fā)光源,用于研究物質(zhì)的分子結(jié)構(gòu)和振動特性;在熒光光譜學(xué)中,可激發(fā)樣品產(chǎn)生熒光,用于分析樣品的成分和特性;在原子物理研究中,可用于冷卻和囚禁原子等。
- 工業(yè)加工:可用于半導(dǎo)體材料的加工,如光刻、刻蝕等;在陶瓷材料加工中,可進(jìn)行打孔、切割等操作;還可用于多層PCB電路板的銅層穿孔等。
- 醫(yī)療領(lǐng)域:可用于醫(yī)療診斷和治療,如皮膚病的治療、眼科手術(shù)等;在生物醫(yī)學(xué)研究中,可用于細(xì)胞成像、生物標(biāo)記等。
- 其他領(lǐng)域:在光學(xué)存儲領(lǐng)域,可用于超高密度光存儲;在防偽檢測領(lǐng)域,可用于制作防偽標(biāo)識等。
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